太阳能电池片扩散炉,和西微太阳能电池片扩散炉,

设备型号：KS-420
设备主要特点：
紧凑型设计
标准单台四管（三管可选），减少占地面积。
闭管磷扩散
工艺反应过程中，工艺片在石英管内，Sic桨外置，实现真正意义上的闭管扩散。
各种气体精确控制流量
数字式MFC的运用，比模拟式的控制精度提高，还消除了模拟传输的干扰。保证工艺生产的稳定性。
废气收集系统
带有废气定向回收冷却装置，收集后统一从后部排出。
气体喷淋扩散工艺
POCl3 ，可采用管内喷淋式引入到各反应区域，有效提高扩散的均匀性。
送片方式
高定位精度和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳可靠，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
封门系统
密封的炉门设计，有效减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，保证装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
自动压力平衡装置
自动闭环压力控制。实现压力平衡自动处理。

设备主要技术参数：

炉膛有效内径： 适用于5~6英寸方片 
装片数量 ：较大400片/批，自动机械装载舟 （可选） 
怛温区长度： 1300MM 
温度控制范围： 400~1100℃，较大1300℃ 
温度控制方式： 标准型：5段智能温度控制器/5点外热偶控温 
恒温区精度： 标准型：800~1100≤±1℃/1200MM；400~799≤±1.5℃/1200MM(可选型:800~1100≤±0.5℃/1200MM；400~799≤±1.0℃/1200MM)
温度斜变能力： A.较大可控升温速率18℃/MM  B.较大降温速率10℃/MM C.RT-900℃≤45MIN 
控制系系统： 工艺过程由工业计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作 
安全保护 ：具有完善的**温，断偶，短路，断气报警保护及安全互锁装置,功能齐全可靠 
温控性能： 具有自动设定斜率升温及恒温功能 
送舟方式 ：采用SIC悬臂桨自动送片机构，舟速5~1000MM/MIN连续可调；舟定位精度≤±0.5MM；
较大承载重量为：19KG，软着陆工艺方式，工艺过程SIC悬臂桨外置
尾气体处理方式 ：尾部气体定向收集，冷凝气液分离后排放安全，操作方便 
废气隔离 ：具有*特的进片吹扫功能，出片冷却除废气功能 
温控曲线： 每管可存储300~500条工艺曲线设计，每条曲线不少30个拐点，满足工艺要求 
较大升温功率： 46KW/每管 
保温功率 ：19KW/每管 
净化级别： 1000级（在一万级厂房） 
炉管数 ：标准4管/台；（2，3，5管/台可选定） 

     深圳市和西电子设备有限公司成立于１９９９年，公司专业设计生产及经营各式全自动插件机，无铅波峰焊,无铅回流焊,AOI光学检测完全仪及SMT周边设备，并以高科技产业为目标，围绕SMT行业积极开发新产品．２００１年，和西与韩国TSC公司合作生产销售波峰焊，回流焊及AOI设备．２００４年底，和西华东销售本部及苏州销售分公司成立．之后几年中，和西相继在西南成都，华北北京，天津，华东杭州成立办事机构．同时，和西为了开拓海外市场，２００４年１０月相继成立美国，新加坡，法国，意大利，巴西，墨西哥，匈牙利等海外销售机构．２００５年，和西与清华大学合作，建立清华大学SMT实验室并提供设备维护和工艺技术支持．２００６年，和西与广东省电子学会，四川省电子学会合作编撰了SMT焊接技术及无铅焊接工艺和设备书刊，为SMT在中国大陆的推广及扩大使用做出了良好的基础性工作．

      深圳市和西微电子设备有限公司：是继和西电子设备有限公司之后成立的又一家设备公司，专业设计，生产及经营太阳能光伏设备，包括有PECVD,扩散炉，高温炉，清洗设备等。2007年公司开始进入太阳能设备领域，相继开发出了PECVD，扩散炉，各种清洗植绒设备，高温烧结炉等产品。公司把在成套电子设备上的成熟，良好技术用于光伏太电能电池行业，旨在为**光伏太阳能产业做出自己的贡献。和西微电子设备有限公司，技术力量雄厚，汇聚各类技术人员，具有*，设计和生产各种产品的能力。 
 

售后服务体系：
* 整机保修期限：1年
* 响应时间：1~2小时
* 保修期外收费：按采购成本收费
* 定期拜访客户了解使用情况，收集客户意见
* 定期为客户提供较新生产技术及设备信息